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潔凈廠房的潔凈度是什么意思

2021-09-09

 

潔凈廠房潔凈度,即是指潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi),空氣中懸浮粒子的空氣潔凈度。當潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學污染物時,應根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

 

按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50073-2013》標準,潔凈度的整數(shù)等級應按下表計算確定:

 

潔凈廠房的潔凈度

注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應超過3位。

 

各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算:

 

潔凈廠房的潔凈度

以上公式中:Cn = 每立方米空間最大允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度;

N = ISO潔凈度分級數(shù);

D = 顆粒物尺度,單位為微米;

0.1 = 常數(shù),單位為微米。

 

一般潔凈度可對應潔凈室的狀態(tài):空態(tài)(已建成,但無設(shè)備和人員),靜態(tài)(設(shè)備已就位,但無人員),動態(tài)(設(shè)備和人員正常運作)。

 

潔凈廠房的潔凈度

 

隨著科學技術(shù)的發(fā)展,目前在一些高科技產(chǎn)品(芯片、半導體、液晶、CPU等)的潔凈廠房中,不僅要求控制潔凈室(區(qū))內(nèi)的微粒,還要求控制各類微生物、化學污染物等方面,愈發(fā)嚴格。

 

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